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【経済産業省】2001.03.15 発表

省エネルギー効果にも期待、超低損失電力素子技術開発に画期的ブレークスルー電子技術総合研究所などが成功

 経済産業省ニューサインシャイン計画のもと、新エネルギー総合開発機構(NEDO)が(財)新機能素子研究開発協会に委託して進めている「超低損失電力素子技術開発プロジェクト」において、産業技術総合研究所電子技術総合研究所(児玉皓雄所長)と新機能素子研究開発協会(山本卓眞会長)は共同研究の結果、チャネル移動度140cm2/VsのH-SiC界面制御エンハンスメント型埋め込みチャネル(MOSFET)の作成に成功した。また、超高温、高速熱処理装置を開発することにより、オン抵抗要因のひとつであるSiCMOSFETソース/ドレインの抵抗値を38Ω/□まで下げることにも成功。これらの技術は、Si素子の100分の1のオン抵抗値の実現に目処をつけ、家電製品や産業用機器の効率を飛躍的に向上し、省エネルギーへ多大に貢献することが期待される。【経済産業省】

プレスリリース

http://www.meti.go.jp/kohosys/press/0001389/

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